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蓝明达摇头,“不知道啊,去看看。”
说着他就带着人走了出去,一出去就看见陆见正坐在实验台边上,手里正拿着一块已经抛过光的单晶硅片。
他们一群人过来动静还是有些大的,陆见抬头看着简明远还有徐言,“简工、徐工,帮着设计一份电路图,画好之后弄到掩膜之上,电路图上面最少要有4000个晶体管。”
听到陆见的话蓝明达有些急切地问:“陆工,你是不是想到什么办法了?”
陆见看了他一眼,然后点了一下头,接着对他说:“蓝工,麻烦去帮忙找一下透镜,记得要是光学透镜,缩小的倍率大一些的。”
蓝明达还有些懵,“光学透镜,你要这东西做什么啊?”
陆见:“缩小电路图啊,利用光刻技术直接电路图缩小到晶圆上。”
“对对对,直接光刻之后再显影……”陆见这么一说不少人都已经明白过来了,之前根本就没有想过这个办法。
“陆工,我们马上去画电路图。”说完徐言就拉着简明远找了个地方开始忙了起来。
“那我带着人去找你要的光学透镜。”蓝明达也快速离开了。
剩下的人也很快开始给陆见帮忙。
简明远他们的电路图画得很顺利,蓝明达他们去找光学透镜却很不顺利,这种专业的光学设备本来就少,陆见需要的倍率又有要求,很难找到符合要求的东西,经过多方打听,一直到下午四点的时候才找到一个差不多的透镜回来。
蓝明达拿到东西之后就快速跑回了实验室,里面还是在忙碌着,陆见他们已经将前期的准备都做好了。
蓝明达气喘吁吁地跑了进去,小心地将手中的盒子放在陆见手上,“陆工,这是能找到的倍率最高的光学透镜了。”
说完之后他扶着桌子不停地喘气,显然是累得不行。
陆见将盒子放在桌上,赶紧将一把椅子放在他后面。
第160章
“行了,先休息一会吧!”看他还要说话,陆见连忙说:“我现在就开始做实验,你不用担心,电路图已经画好了,我检查过,没有问题。”
听到他的话蓝明达就放心了,安心坐了下来。
陆见回到自己位置上,在单晶硅片上滴上光刻胶,又用旋涂技术将其涂均匀,让晶圆表面形成一层光刻薄膜。之后利用光学透镜将掩膜桑的电路投射到晶圆上,这里使用的光线是紫外线。
陆见手很稳,电路图被完美地投在了晶圆上面。
之后将光刻过的晶圆放入显影液中,再之后就是冲洗,放入腐蚀液中,经过冲洗之后填充二氧化硅用于绝缘……
这套工艺步骤很多,也很复杂,不过陆见还是很顺利地进行了下去,等到陆见将所有步骤做完的时候已经非常晚了,中途简明远和徐言他们轮流帮忙,等到陆见将各元器件连接完成的时候已经是凌晨四点多了。
陆见揉揉疲乏的眼睛,这个光学透镜倍率还是不行,如果能再高些的话他们能生成的晶体管更多,要知道未来工艺达到一定水平片之后,一块晶圆上可以分割出成千上万个芯片,可惜现在一切都是梦了。
陆见看了实验室里面的人,大都已经趴在桌子上睡着了,一直说要陪着他等结果的简明远还有蓝明达他们也都撑着手迷糊着。因为芯片制作的最后一个步骤是连接个元器件,要将金属铜填充到各晶体管之间作为嗲年,工艺多且复杂,需要不断重复很多层,整个过程差不多就几百个步骤,他们都已经撑不住了。
陆见将芯片放在盒子里,站起来伸了个懒腰,无声地打了几个哈欠,并没有叫醒他们的意思,现在都四点多了,还是让他们休息一吧,没多久就天亮了。
心里这么想着陆见拿起装芯片的盒子,脚步轻轻地回到了自己的办公室,之后拿起水杯喝了一口水,也准备趴一会,还好现在已经五月了,天气已经快三十度了,也不用担心他们着凉。
心里这么想着他就闭上眼睛趴着睡了起来,脑子实在是太累了,还没等他睡着门就被突然被从外面打开了。
“陆工,你在这啊?”
脚步声到了陆见桌子边上,陆见没办法只能勉强睁开眼睛太起来,进来的是蓝明达,门外面还站着简明远、赵磊和徐言,应该是突然醒过来发现他没在。
“芯片已经做好了,在这。”知道他们在想什么,陆见直接将桌子抽屉里面装着芯片的盒子拿了出来。
蓝明达迫不及待地接了过来,打开看了起来,还一边问:“你做完多久了呀?没有什么问题吧?怎么不喊我们呢?现在直接可以做测试了。”
门外的徐言他们也都跑了进来,围着蓝明达看了起来。
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